氧化铝陶瓷因 “高硬度、耐高温、耐腐蚀性强” 的特性,成为半导体、光伏、汽车电子等领域的核心材料。致远陶瓷 “氧化铝陶瓷” 系列产品,涵盖 “95% 氧化铝陶瓷、99% 氧化铝陶瓷、99.5% 高纯度氧化铝陶瓷” 三个品类,凭借 “纯度可控、精度超高、性能稳定” 的优势,适配 “半导体晶圆载具、光伏设备配件、电子绝缘部件” 等核心场景,满足高端制造对材料的严苛要求。
“高纯度特性,满足精密场景需求”。致远陶瓷通过优化原料配方与烧结工艺,实现氧化铝陶瓷纯度精准控制:一是 “高纯度原料筛选”,选用 “4N 级(纯度 99.99%)氧化铝粉末” 为原料,剔除杂质颗粒,确保陶瓷基体纯净度;二是 “精准烧结工艺”,采用 “气氛保护烧结炉”,控制烧结温度(1600-1700℃)、升温速率与保温时间,避免陶瓷内部产生气孔、裂纹,99.5% 高纯度氧化铝陶瓷的体积密度达 3.85g/cm³,气孔率低于 0.1%;三是 “性能优势显著”,高纯度氧化铝陶瓷硬度达 HRA92 以上(远超金属硬度),耐高温性达 1700℃(可长期在 1200℃环境下工作),耐酸碱腐蚀性能优异(可耐受除氢氟酸外的多数化学试剂),如在半导体晶圆清洗工艺中,使用致远 99.5% 氧化铝陶瓷载具,可耐受强酸清洗液腐蚀,使用寿命比普通氧化铝陶瓷延长 3 倍。
“微米级精度,适配精密制造装配”。致远陶瓷依托先进加工设备,实现氧化铝陶瓷件 “高精度制造”:一是 “精密成型技术”,采用 “干压成型 + 等静压成型” 结合工艺,针对不同尺寸陶瓷件选择适配成型方式,如小型薄片陶瓷件采用 “干压成型”,确保厚度公差 ±0.02mm;大型复杂结构件采用 “等静压成型”,保证陶瓷件密度均匀、无变形;二是 “数控精密加工”,配备 “五轴 CNC 加工中心”,可对陶瓷件进行 “钻孔、开槽、异形面加工”,加工精度达 ±0.005mm(相当于头发丝直径的 1/10),如为半导体设备定制的 “氧化铝陶瓷晶圆托盘”,表面平整度误差≤0.01mm,确保晶圆平稳放置;三是 “表面精细处理”,通过 “研磨抛光工艺”,使陶瓷件表面粗糙度 Ra≤0.02μm,达到 “镜面效果”,减少半导体晶圆与载具的摩擦损伤,某半导体设备企业反馈:“致远的氧化铝陶瓷载具精度超高,晶圆在传输过程中无偏移,极大提升了芯片制造良率。”
“多场景适配,覆盖高端制造领域”。致远陶瓷氧化铝陶瓷系列产品可根据行业需求定制:一是 “半导体领域”,开发 “晶圆载具、真空吸盘、绝缘支架” 等产品,如 99.5% 高纯度氧化铝陶瓷晶圆载具,可适配 8 英寸、12 英寸晶圆,耐高温且无金属离子析出,避免污染晶圆;二是 “光伏领域”,开发 “光伏电池片烧结炉配件、硅片传输滚轮”,如氧化铝陶瓷传输滚轮,表面光滑耐磨,可减少硅片传输过程中的划伤,提升光伏电池片成品率;三是 “电子领域”,开发 “高频绝缘陶瓷、电子封装外壳”,如 95% 氧化铝陶瓷绝缘支架,绝缘强度达 20kV/mm,适配高压电子设备,确保电路安全稳定。